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美国PIE等离子清洗仪
美国PIE等离子清洗仪
英文名称:PIE SEMI-KLEEN RF Plasma Cleaner总访问:8219
国产/进口:进口半年访问:44
产地/品牌:USA美国/PIE产品类别:电子显微镜/扫描探针
型       号:SEMI-KLEEN 最后更新:2019-7-18
货       号:
参考报价:请询价025-85432178
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美国PIE公司出品的SEMI-KLEEN 等离子清洗仪, 可清洗各种类型电子或者离子显微镜,深紫外光刻机,电子光刻系统等真空仪器。一个仪器同时清洗真空腔体和样品。

本仪器由一个LCD触摸屏操纵器和一个远程射频(RF)等离子源组成,远程等离子源通过一个KF40真空法兰连接到待清洗真空室,有转接法兰提供。主要用于清洗各种扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM),聚焦离子系统(FIB),离子显微镜(HIM)等真空系统中碳氢及别的污染。同时清洗真空腔体和样品。

特有功能

 优越的等离子技术,能够在小于0.1毫托的气压下点火并且坚持稳定的等离子体。最低工作气压比别的同类产品低10到100倍。低气压清洗速度更快,更均匀,对电子枪和分子泵更安定;
 即时等离子起辉技术。不消像在别的同类产品上那样操心等离子是不是胜利起辉;
 带气压计的主动气体流量操纵;
 等离子探针实时测量等离子强度,用户能够依据这个实时反馈来优化清洗配方;
 主动射频匹配实时保证最优化射频耦合,即使用户调节清洗配方;
 专利保护的双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel,台积电,三星等半导体用户的严厉颗粒污染要求;
 带LCD触摸屏的直观操作界面;
 微电脑操纵器带可修改的智能清洗计划,设好就主动清洗您的系统;
 撑腰清洗配方,一键开头,主动射频匹配,主动操纵气体流量;
 微电脑操纵器记载一切信息状态,便于系统维护。

技术指标

 等离子源真空接口: NW/KF40 法兰; 提供转接法兰;
 标配等离子强度传感器;
 等离子源最低点火起辉气压:<0.1毫托;
 等离子源最高工作气压: >1.0 托;
 漏气率: <0.005sccm;
 射频输出: 0~100瓦,陆续可调节;
 具有射频主动匹配功能

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