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相关探针和电子显微镜™(CPEM)的关联成像技术简介
点击次数:2922 公布日期:2018-12-4  来源:本站 仅供参考,谢绝转载,否则责任自负
新型扫描探针显微镜(SPM)和扫描电子显微镜(SEM)关联成像技术简介
 
LiteScope™是一种奇特的扫描探针显微镜(SPM)。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜(SEM)中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够使用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列,能够轻松进行纷乱的样品分析,包括外貌形貌,机械性能,电性能,化学成分,磁性能等的表征。

相关探针和电子显微镜™(CPEM)结合了SPM和SEM技术。  CPEM能够同时在同一协调系统中同时猎取同一地区的SPM和SEM图像。 结合SPM和SEM成像方法能够得到分析地区的更普遍的信息光谱,从而揭示两种图像中可能存在的等同性和纷歧致性
 

 
工作原理
将样品连接到压电扫描仪。 电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间能够对感兴趣的地区由压电扫描器逐点扫描并发出信号,同时对SEM检测器和SPM探针进行采样,以便进行测量放在同一个协调系统中。 在SPM尖端和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的尖端/点偏数百纳米。 如果减去这样的尖端/点偏移,则SEM和SPM图像具有完善匹配和优异的相关性- 能够猎取CPEM图像。


CPEM技术的优
1. CPEM提供多维相关成像 - 来自扫描电子显微镜的图像被扩展为3D
2. 使用CPEM,能够快速精确地区分SEM图像中的地形和原料对角度
3. CPEM以适当的方式将两个或多个SEM信号与测量的地形相关联,例如SE,BSE,EBIC等
4. CPEM能够在相同的条件下同时测量AFM和SEM试样条件,相同的测量速度等
5. 组合的AFM和SEM扫描系统可实现精确的图像相关,消除漂移和别的不精确性

来源:广州科适特科学仪器有限公司
联系电话:020-38102730
E-mail:kosterpub@163.com

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